RD01和RD02机台工作总结

1. 大幅提升RD01和RD02机台外延片效率。使外延片Voc平均值由之前的3.09V左右提升至3.13V以上，FF平均值提高到88％以上。

2. 参与RD01和RD02机台recipe调试，产品定型。参与RD01和RD02机台recipe调试，使两机台的外延片产品定型，为二期的量产定型奠定了基础。

3. RD02机台生产程序的优化，大幅提升产能和节省源用量。一炉生长时间由2小时14分缩短至1小时58分,产能提升19.4％。源用量大幅减少，其中AsH3 用量减少31%，Al源用量减少35%，In源用量减少20%以上。

4. 稳定RD02机台生产。通过对人、机台、物料的统筹管理，使RD02机台稳定量产。对机台人员有效的管理、对各种异常的及时处理以及物料的监控使得RD02机台顺利完成生产任务。

5. 工艺和物料的改进, 提高了产能、稳定了生产。RD01和RD02程序控温模式的改进,增加TC控温方式使得生产更加稳定。16片托盘和浅盘的验证,不同厚度、电导率的衬底的验证,不同厂家MO源和特气的验证,使得产能得到了提升,物料得到了节省。

6. 工艺改进,提升外延片良率的提升。通过参与外延片翘角优化项目,改进衬底的形状使得翘角率下降50%以上。

7. 各机台工艺异常的处理,确保各机台的稳定生产。参与处理RD01和RD02表面调试，RD01和RD04机台的TC控温程序调试。

8. 协助各机台的生产相关工作。由于人员休假，分别暂代RD01和RD03机台长的工作。

9. 编写和完善各种SOP、和培训PPT，对员工进行相关培训。

完成领导安排或其它临时的工作。